硼是TFT-LCD玻璃中的重要組分之一,其影響貫穿玻璃的配合料制備、熔化及基板的性能。
TFT玻璃中硼元素的引入主要有硼酐、硼酸和硼酸/硼酐配比三種方式。目前,玻璃基板生產線多使用硼酐原料的方式引入。硼酐的價格較高,且用量大,是造成玻璃基板生產成本高的重要原因。
隨著玻璃基板市場競爭和降低成本的要求,玻璃基板生產中硼酸替代硼酐原料是基板線生產的發(fā)展趨勢,但硼酸的引入在降低成本的同時也會對玻璃基板的性能產生影響。
為降低產線使用的風險,通過產線模擬實驗方式進行評估,以硼酸/硼酐配比方式代替原有的硼酐作為硼的原材料的引入方式,在此基礎上應用于運行的產線中,研究硼酸的引入及其用量對產線玻璃性能的影響。
以硼酸/硼酐配比方式引入硼酸,逐步增加硼酸的用量,比例從0逐漸增加至60%。以引入硼酸時生產的玻璃樣品為樣本,檢測其各項性能參數(shù),如密度、線性熱膨脹系數(shù)、應變點、退火點、軟化點、羥基含量、顯微硬度、楊氏模量、泊松比,對比引入前后玻璃性能的變化。
對硼酸引入及其用量對非晶硅TFT面板用玻璃基板性能的影響,得出如下結論:
(1)硼酸的引入對玻璃的密度、線膨脹系數(shù)、軟化點、維氏硬度、楊氏模量、泊松比等關鍵理化指標沒有明顯的影響;
(2)硼酸的引入會造成玻璃基板中羥基含量的明顯增加,造成退火點、應變點小幅降低,但降低幅度有限,對產品性能沒有明顯影響。當硼酸引入量至60%,退火點降低約3℃,應變點降低約4℃;
(3)硼酸的引入不會造成玻璃基板性能指標的顯著變化,不影響其在非晶硅TFT面板中的應用;
(4)玻璃基板生產中硼酸替代硼酐原料是可行的。
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